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深圳市奧斯恩凈化技術(shù)有限公司

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半導(dǎo)體制造車(chē)間在線式氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器的詳細(xì)資料

  聲明:以上價(jià)格不代表實(shí)際價(jià)格,需要根據(jù)實(shí)際需求確認(rèn)后方可定價(jià)格,有需要請(qǐng)電話咨詢或者在線聯(lián)系客服,給您帶來(lái)不便請(qǐng)諒解!

  半導(dǎo)體制造車(chē)間在線式氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器是一種的技術(shù)設(shè)備,基于激光散射原理的多通道粒子計(jì)數(shù)傳感器,可準(zhǔn)確測(cè)量包含0.3μm,、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm行業(yè)通用的6種粒徑。主要用于實(shí)時(shí)監(jiān)控和記錄空氣中微粒的數(shù)量、大小以及分布情況。廣泛應(yīng)用于各種需要嚴(yán)格控制空氣質(zhì)量的環(huán)境中,如半導(dǎo)體制造廠、制藥車(chē)間、醫(yī)院手術(shù)室等對(duì)潔凈度要求極&高的場(chǎng)所。通過(guò)使用高精度傳感器來(lái)捕捉空氣中的微小顆粒物信息,并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送給數(shù)據(jù)處理單元進(jìn)行分析處理,最終以圖表或數(shù)字形式展示給用戶界面上。

半導(dǎo)體制造車(chē)間在線式氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器

半導(dǎo)體制造車(chē)間在線式氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器特點(diǎn)

數(shù)據(jù)準(zhǔn)確:?jiǎn)晤w粒激光散射原理,工業(yè)級(jí)激光光源。計(jì)數(shù)效率高,重復(fù)性和 一致性好。

粒徑范圍:粒徑范圍 0.3~10μm,保證計(jì)數(shù)效率同時(shí),單臺(tái)傳感器覆蓋六通道。

可靠性高:空氣動(dòng)力學(xué)修正, 光路和氣路自檢,對(duì)震動(dòng)不敏感,保證系統(tǒng)可靠性與穩(wěn)定性。

流量穩(wěn)定:采用主動(dòng)采樣方式,采用恒流進(jìn)氣風(fēng)扇,選配 PID 流量控制功能,

可支持穩(wěn)定、長(zhǎng)時(shí)間、高負(fù)壓、采樣;可選氣泵版,外置高性能氣泵模塊。

響應(yīng)快速:秒級(jí)數(shù)據(jù)更新。

全自動(dòng)測(cè)量:可遠(yuǎn)程控制,無(wú)線傳輸,數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳至物聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)。

電路安全:具有 ESD、過(guò)壓、過(guò)流、反接保護(hù),確保電路的穩(wěn)定性及可靠性。

安裝便捷:安裝結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,通用性高。

安全友好:低壓供電,無(wú)電擊;無(wú)放射源,無(wú)光污染。

軟件有完整的事件記錄,包括傳感器的工作狀態(tài)、登錄用戶的所有操作和報(bào)警事件等。

系統(tǒng)設(shè)有現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警(具有現(xiàn)場(chǎng)消音功能),可支持短信報(bào)警功能,用戶可任意設(shè)定超限報(bào)警級(jí)別、預(yù)報(bào)警級(jí)別。

配置多色報(bào)警器,可在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)提供聲音或可視的報(bào)警信號(hào),因此,報(bào)警燈應(yīng)放置在顯眼的位置, 并可將警報(bào)可以轉(zhuǎn)換成多色信號(hào)燈顯示,還可以選配短信報(bào)警器。

技術(shù)指標(biāo)

氣溶膠粒子計(jì)數(shù)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

類(lèi)別

序號(hào)

產(chǎn)品名稱(chēng)

參數(shù)規(guī)格

主機(jī)

1

數(shù)據(jù)采集儀

l 性能參數(shù):NXP i.MX6UL處理器,Cortex®-A7內(nèi)核,主頻528MHz,內(nèi)置linux操作系統(tǒng);

l 多通道數(shù)據(jù)采集接口,3路232和3路485接口,支持MODBUS協(xié)議,超標(biāo)報(bào)警推送、超標(biāo)告警查詢、全天候24實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè),可集成多種傳感器探頭;

l 支持遠(yuǎn)程登錄、自動(dòng)重啟遠(yuǎn)程升級(jí)、遠(yuǎn)程更新設(shè)備軟件;

l 控制功能:能通過(guò)上位機(jī)控制檢測(cè)儀表設(shè)置數(shù)據(jù)采集頻率、系數(shù)校準(zhǔn)、時(shí)間同步、報(bào)警參數(shù)設(shè)置等功能;

l 支持插入U(xiǎn)盤(pán)自動(dòng)升級(jí)軟件程序功能;

l 具備以太網(wǎng)接口,直接通過(guò)局域網(wǎng)或internet與上位機(jī)通訊;

l 具備數(shù)據(jù)超標(biāo)聯(lián)動(dòng)報(bào)警功能,可聯(lián)動(dòng)報(bào)警燈、攝像頭抓拍等;

l 數(shù)據(jù)存儲(chǔ):內(nèi)置大容量SD卡,可存儲(chǔ)一年以上的原始監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),并可通過(guò)有線或者無(wú)線方式顯示到LED屏幕上或者云平臺(tái)軟件;

l 設(shè)備數(shù)據(jù)傳輸符合國(guó)家通信標(biāo)準(zhǔn)HJ212-2017傳輸協(xié)議;

l 具備GPS定位功能,實(shí)時(shí)定位設(shè)備所處地理位置;

l 斷網(wǎng)續(xù)傳功能:在設(shè)備離線的情況下,正常監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),設(shè)備恢復(fù)網(wǎng)絡(luò)后遠(yuǎn)程補(bǔ)傳;

l 可擴(kuò)展性:可擴(kuò)展添加噪聲,顆粒物,含氧量檢測(cè)指標(biāo)等參數(shù)。

監(jiān)測(cè)參數(shù)

2

粒子計(jì)數(shù)傳感器

l 測(cè)量輸出:0.3~10μm 共 6 通道粒子數(shù)

l 量程:4,000,000 個(gè) /ft3

l 計(jì)數(shù)效率:0.3μm/50% >0.45μm/100%(@25℃,50%RH)

l 相對(duì)誤差:±15%(@25℃,50%RH)

l 工作溫度范圍:-20-60℃

l 溫度范圍:0-99%RH

l 工作大氣壓力:86KPa~110KPa

3

風(fēng)速傳感器(選配)

l 測(cè)量范圍:0-1m/s ;1-20 m/s

l 測(cè)量精度:±0.1 m/s

l 工作范圍:溫度:0-50℃,濕度:<85%RH

l 響應(yīng)時(shí)間:<3秒

4

壓力傳感器(選配)

l 測(cè)量范圍:默認(rèn)-120Pa~120Pa

l 壓差精度:±(3%讀數(shù)±0.08Pa)@25℃

l 壓差分辨率:0.1Pa

l 長(zhǎng)期穩(wěn)定性:≤0.05Pa/y

l 響應(yīng)時(shí)間:1S

5

溫濕度傳感器(選配)

l 測(cè)量范圍:溫度:-40-120℃濕度:0-100%RH

l 測(cè)量精度:溫度:±0.5℃濕度:±3%RH

l 分辨率:溫度:0.1℃;濕度:0.1%RH

監(jiān)控

云平臺(tái)

6

云平臺(tái)功能

l 查詢:此功能主要用于多臺(tái)設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)對(duì)比查詢;

l 歷史查詢:歷史查詢主要用于查詢?cè)O(shè)備某天或某小時(shí)的數(shù)據(jù)曲線查詢及報(bào)表下載;

l 曲線分析:曲線分析是用于分析一個(gè)時(shí)間段內(nèi)的要素變化,可以在曲線上進(jìn)行拖動(dòng);

l 站點(diǎn)管理:這個(gè)功能是用于添加或更改站點(diǎn)

l 電子地圖:在線狀態(tài),故障狀態(tài)

l 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù):實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)查詢,小時(shí)平均值,日平均值數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),最大值最小值統(tǒng)計(jì)


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